Koordinatentisch höchster Präzision mit neuer effizient fertigbarer Kinematikeinheit

Motivation des Projektvorhabens

Aktuell werden In der Halbleiterfertigung und Mikrosystemtechnik hochgenaue Koordinatentische als Objektträger in Bearbeitungs- und Testanlagen eingesetzt. Beispielsweise müssen für die Charakterisierung und Qualitätskontrolle von auf einem Wafer befindlichen hochintegrierten Schaltkreisen die Kontaktnadeln eines Testsystems exakt zu den elektrischen Anschlussflächen ausgerichtet werden. Die Schaltkreisstrukturen und die entsprechenden elektrischen Anschlussflächen auf einer solchen integrierten Schaltung sind üblicherweise sehr klein, so dass das Ausrichten des Wafers bezüglich der Kontaktierungsnadeln sehr exakt erfolgen muss. Hinzu kommt, dass die übliche Wafergröße bei einem Durchmesser von derzeit bis zu 300 mm liegt, so dass der Wafer in einem großen Bewegungsbereich verfahren wird. Dabei ist eine Genauigkeit von unter 1µm mit einer Auflösung im Submikrometerbereich einzuhalten. Die Kosten für ein solches aufwendig zu fertigendes Tischsystem liegen bei durchschnittlich ca. 300.000€.

Herkömmliche Koordinatentische weisen in der Regel zwei Positionierachsen auf, die kreuzförmig miteinander gekoppelt sind. Dabei verfährt jeweils eine Positionierachse den Objektträger in eine Richtung (X- oder Y-Richtung) der Tischebene. Aufgrund der verwendeten Materialien mit einem nicht vernachlässigbaren Temperaturausdehnungskoeffizienten ist die erreichbare Positionierauflösung und Positionsanfahrgeschwindigkeit bei Koordinatentischen dieser Art begrenzt. Zurzeit am Markt verfügbare Koordinatentische erreichen eine Genauigkeit von 1 µm. Aufgrund der stetig fortschreitenden Miniaturisierung in der Halbleiterfertigung und Mikrosystemtechnik ist zukünftig mit weiter steigenden Anforderungen hinsichtlich der Positioniergenauigkeit zu rechnen. 

Forschungs- und Entwicklungsziele

Dieses FuE-Vorhabens ist die Entwicklung eines neuartigen Koordinatentisches, mit dem ein Objekt schnell, genau und zuverlässig positioniert werden kann. Die Innovationshöhe liegt einerseits in seiner neuartigen, unkonventionellen Bewegungskinematik, seiner Leichtbauweise und in seiner Kompaktheit. Während der Entwicklung sollen Leichtbaukomponenten und alternativ Komponenten aus Granit unter dem Gesichtspunkten Temperaturstabilität, Dynamik und Leichtbau eingehend untersucht werden. Dabei verspricht die Gewichtsreduktion durch Leichtbauweise eine verbesserte Bewegungsdynamik des Koordinatentisches. Dabei ist allerdings zu prüfen, inwieweit die Steifigkeitsanforderungen davon negativ beeinflusst werden. Die theoretischen Untersuchungen dazu sollen mittels Simulation nach der Finiten-Element-Methode (FEM) erfolgen. 

Verwertungspotenzial der Entwicklung

Als Projektergebnis wird ein hochpräziser Koordinatentisch mit einer im Vergleich zu bisher am Markt verfügbaren Systemen doppelt so hohen Positioniergenauigkeit erwartet. Die fortschreitende Miniaturisierung in der Halbleiterfertigung und Mikrosystemtechnik wird zukünftig weiter steigende Genauigkeit für Positioniersysteme erfordern, sodass mit einem wachsenden Marktvolumen für hochpräzise Koordinatentische gerechnet werden kann. Die Applikationsmöglichkeiten des hochpräzisen ressourceneffizienten Koordinatentisches sind wesentlich erweiterbar, indem der Arbeitsraum ober- und unterhalb des Objektträgers für Fertigungsverfahren und Qualitätsprüfung frei zugänglich ist. Ein weiterer Vorteil des Koordinatentisches liegt in der Eignung für den Vakuumeinsatz (z. B. bei Anwendungen in der Elektronenstrahlmikroskopie oder -bearbeitung und bei Dünnschichtbeschichtungs-anwendungen).

Projektpartner

  Ideema GmbH Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik (IWU)
Ansprechpartner

Dirk Panitzke

Alexander Pierer
Adresse An der Windmühle 7, 01917 Kamenz Reichenhainer Str. 88, 09126 Chemnitz
Kontakt info@ideema.de alexander.pierer@iwu.fraunhofer.de
Teilprojekt Entwicklung Maschinenkonzept und Verifikation des Demonstrators unter Realbedingungen Entwicklung Steuerungslösung und Charakterisierung, Leichtbautragarm und messtechnische Maschinencharakterisierung 

Projektlaufzeit

01.06.2021 - 31.08.2022

Förderhinweis

Die Projektpartner danken der Europäische Union und dem Freistaat Sachsen für die finanzielle Unterstützung.